Sensorik

Applikation

Die keramische Mehrlagentechnologie gestattet die Integration sensorischer Funktionen.
Ein Beispiel ist die Herstellung von Verformungskörpern (z. B. Balken, Membranen) zur Detektion mechanischer Größen (z. B. Druck, Beschleunigung, Kraft). Keramische Werkstoffe bieten sich aufgrund des nahezu linearen Spannungs-/ Dehnungsverhaltens als Materialien für Verformungskörper an. Die Detektion der Verformung erfolgt über verschiedene Messprinzipien (piezoresisitv, piezoelektrisch, kapazitiv) und erfordert die Integration entsprechender Funktionsschichten (dehnungsempfindliche Widerstände, piezoelektrische Schichten, Elektroden). Fluidische Anwendungen, wie Druck- und Durchflusssensoren benötigen Kanäle und Kavitäten zum Führen von Gasen oder Flüssigkeiten durch den Sensor. Die Strukturierungsmöglichkeiten und der dreidimensionale Aufbau von LTCC/HTCC bieten eine hohe Flexibilität in Design und Geometrie der integrierten Elemente.

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Absolut-/Relativdrucksensoren
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Differenzdrucksensor
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