Drucksensoren

Die Vorteile keramischer Sensoren gegenüber siliziumbasierten Sensoren bzw. in Dünnschichttechnik abgeschiedenen Metallisierungen auf eine Stahlmembran ergeben sich zunächst durch das Optimum der Eigenschaftskombination von Gauge – Faktor (k) und Widerstandstemperaturkoeffizient der gedruckten Dickschichtwiderstände.

Während des Mehrlagenaufbaus können aus den strukturierten Grünfolien keramikintegrierte Kanäle und Kammern bzw. freistehende Membranen generiert werden. In den auf der Membran aufgedruckten piezoresistiven Elementen entsteht bei Deformation der Keramikmembran eine messbare Widerstandsänderung. Die integrierte Elektronik arbeitet das analoge Signal direkt am Sensorelement auf, wie z.B. Korrektur von Temperatureinfluss, Offsetspannung, Digitalisierung des Sensorsignals.

Technische Kenndaten

• Sensorkennlinien Relativ- und Differenzdrucksensor (siehe Downloadbereich)
• Verhältnis Biegefestigkeit zu E-Modul: 2,7 * 10-3 MPa für den verwendeten LTCC-Typ

Leistungsangebot

• Erarbeitung von sensorischen Lösungen für die Druckmessung (Relativ-, Absolut- und Referenzdruck)
• Adaption an Messbedingungen
• Sonderlösungen für Druckmessung in hohen Temperaturbereichen und unter aggressiven Atmosphären