LTCC- Matrixheizer

Der Einsatz der keramischen Multilayertechnik erlaubt die Realisierung eines hochdynamischen und effizienten Heizverfahrens zur lokal definierten Erwärmung von Oberflächen.

Der realisierte Matrixheizer besitzt 64 individuell ansteuerbare und regelbare Heizerpixel. Im Diagramm sind die Ergebnisse für die Beheizung bei einer Heizdauer von 0,5 s eines Pixels und die daraus resultierende Erwärmung der benachbarten Pixel dargestellt.

Zusätzlich ist es auf Basis der keramischen Multilayertechnik möglich, keramikintegrierte Kühlstrukturen zu realisieren und somit einen zusätzlichen Freiheitsgrad zur Beeinflussung der Temperaturgradienten zu erhalten.

Technische Kenndaten:

• 8 x 8 Temperatursensoren (1000 Ω) auf der Oberseite
• 8 x 8 Heizer (im Raster 5,2 mm, je 3 W) , vergraben
• 256 Kontakte auf Rückseite
• Heizermodul 2 mm dick, Größe (50 x 50) mm²
• Mechanisch stabil bei hohen Temperaturgradienten und Aufheizraten:
  • T-Gradienten bis 350 K/mm
  • Aufheizraten bis 7000 K/s