Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
IR-Aufnahmen vom keramischen Heizers in LTCC- Multilayertechnik (links: am Ende eines Heizimpulses; Mitte: 1s nach Heizimpuls; rechts: 2s nach Heizimpuls).
Keramischer Heizer in LTCC- Mehrlagentechnik: Vorderseite (links) und Rückseite (rechts).
Beim hier demonstrierten Heizer befinden sich an der Oberfläche 8 Temperatursensoren und in den darunter liegenden Schichten zwei Heizerebenen mit je acht konzentrisch angeordneten Heizkreisen. Die geometrische Gestaltung der einzelnen Heizkreise erfolgte mit einer optimierten Flächeneinteilung als Ergebnis von Simulationsrechnungen nach den gegebenen Prozessanforderungen. Die elektrische Kontaktierung ist über interne Verdrahtungsebenen auf der Substratrückseite angeordnet.
Technische Kenndaten:
- 8 Temperatursensoren (1000 Ω) auf der Oberseite
- 16 Heizer in 2 Ebenen , vergraben
- 96 Kontaktpads auf der Rückseite
- Außendurchmesser Heizermodul 72 mm
- Heizermodul 2 mm dick, im Außenbereich auf 1 mm abgedünnt
- Mechanisch stabil bei hohen Temperaturgradienten und Aufheizraten:
- T-Gradienten bis 350 K/mm
- Aufheizraten bis 7000 K/s