Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTSDas Fachgebiet umfasst die Entwicklung und Synthese di-, piezo- und ferroelektrischer Werkstoffe mit homogenen und heterogenen Gefügen für Kondensatoren, Aktoren und Sensoren nach dem Mischoxid-Verfahren. Neuere Arbeiten konzentrieren sich auf die Synthese umweltrelevanter bleioxidfreier piezokeramischer Werkstoffe. Dabei liegt ein Schwerpunkt auf der Herstellung von perowskitischen Templaten zur Strukturierung funktionskeramischer Vielschichtverbunde nach dem Templated-Grain-Growth-Verfahren.
Das Arbeitsgebiet umfasst des Weiteren die Darstellung von funktionskeramischen Dünnschichten nach CSD-Verfahren auf unterschiedlichen Substraten. Zu diesen Materialien zählen PZT-Dünnschichten im Bereich von wenigen Nanometern bis hin zu Schichtdicken > 50 µm durch eine Kombination von CSD- und Schlickerverfahren, die Abscheidung dielektrischer Materialien für Speicheranwendungen für die Halbleiterindustrie im Schichtdickenbereich < 100 nm und die Herstellung von neuartigen anorganischen Materialien als Ätzstoppschichten im Prozess der Siliciumstrukturierung.
Leistungsangebot
- Sensor-, Aktor- und Kondensatorwerkstoffe (Pulver- und Sol-Gel-Technologie sowie Ionenätzen)
Technische Ausstattung
- Pulverherstellung
- Pulveraufbereitung: Planetenkugelmühlen, Attritoren
- Pressverfahren: Isostatisch, CIP, HIP
- Sintertechnik: Laboröfen, Vakuum-Sauerstoff-Öfen, SPS
- Dünnschichtabscheidung
- Reinraumzelle Klasse ISO 3
- PVD-Anlage zur Abscheidung von Ti / Pt / Cr / Ni / Au / Ta
- Lackschleuder zur CSD-Beschichtung und Lackbeschichtung
- Hot-Plate, RTA-Anlage zur Trocknung, Temperung und Strukturbildung
- Mask-Aligner zur Strukturierung der Schichten und Aufbringen von Deckelektroden
- Umfassende dielektrische Charakterisierung