Mit Hilfe des Röntgensystems Cheetah EVOplus (YXLON International GmbH) kann das Fraunhofer IKTS Komponenten zerstörungsfrei auf Defekte oder Schäden prüfen und so fundierte Defektanalysen durchführen. Durch die große Inspektionsfläche von 460 x 410 mm, die hohe Auflösung von 300 nm sowie die flexible Software lassen sich sowohl große Komponenten als auch eine Vielzahl kleinerer Komponenten gleichzeitig analysieren und auswerten. Die integrierten Kalibrierroutinen sorgen für eine automatisierte Übertragung der Messwerte in Protokolle.
Technische Kenndaten
- Inspektionsfläche: 460 mm x 410 mm
- Maximale Komponentengröße: 800 mm x 500 mm
- Röhrentyp (offen) bis 160 kV bei 1 mA
- Röhrenleistung 64 W mit einer Targetleistung von 15 W
- Detail-Erkennbarkeit: < 300 nm
- Maximal geometrische Vergrößerung: 3000fach
- Schrägansicht von Proben: ± 70°