Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS

Technische Infrastruktur

© Fraunhofer IKTS

System zur Elektronenbestrahlung von Oberflächen

 

  • Gerät: EBLab 200 von Ebeam Technologies
  • Spannungsbereich: 70 bis 200 kV
  • Max. Leistung: 2,25 kW
  • Max. Strahlstrom: 1 bis 20 mA (spannungsabhängig)
  • Probentransportgeschwindigkeit: 3 bis 30 m/min
  • Probengröße: DIN A4 (216 x 297 mm), höhenverstellbar bis zu 50 mm (in Schritten von 5 mm)
  • Stickstoffinertisierung: minimale Sauerstoffkonzentration (< 50 ppm)
© Fraunhofer IKTS

Elektronenstrahl-Dosismessgerät

 

  • Max. Probengröße: 300 x 300 x 330 mm3
  • Auflösung, lateral: 200 µm
  • Dosis-Dynamikbereich: 0 bis 250 kGy
  • Dosisauflösung:
    • bis 80 kGy: 1 kGy
    • ab 80 kGy: 5 kGy
  • Vermessbare 3D-Profile: automatisiert, per Software-Update Kundenwünsche umsetzbar