SaxCrystalPower-FuE: Werkstoff-/ Technologiebasis für SiC-Halbleiter-Herstellung und -verarbeitung zur Stärkung Sachsens Leistungselektronikbranche

Projekt

Ziele des Projekts:

1.       Herstellung hochreiner SiC-Sublimationspulver für die SiC-Einkristallzucht

2.       Verdichtungsmaximierung von Sublimationstarget (SbT) über Sinterprozesse

3.       Vergleichende Herstellung von SiC-Einkristallen mit Pulvern und SbT

4.       Bewertung der Prozessabläufe und SiC-Einkristalle über Produkteigenschaften mittels kombinierter elektrischer und mikroskopischer Methoden (Hall+TEM)

Mit den Forschungsarbeiten werden zusätzlich wichtige wirtschaftspolitische Ziele adressiert:

1.       Absicherung einer Schlüsseltechnologie für Europa/ Deutschland

2.       Stärkung der Forschungs- und Wirtschaftsregion Sachsen

3.       Erhöhung der Attraktivität des Wirtschaftsstandorts Sachsen, insbesondere für Mikroelektronik