마이크로 전자 소재 및 나노 분석

마이크로일렉트로닉스를 위한 나노역학 및 신뢰성

© Photo Fraunhofer IKTS
구리 인덴트의 AFM 스캔.

더 작고, 더 강력하고, 동시에 더 신뢰할 수 있는 미래의 초소형 전자 부품을 위해 새로운 소재와 더 나은 기술이 전제되어야 합니다. 프라운호퍼 IKTS의 "Materials and Reliability for Microelectronics" 연구 그룹은 마이크로 및 나노기계 소재 특성화 분야와 반도체, 소비자 및 자동차 전자 제품의 복잡한 신뢰성 분석 분야에서 세계적인 리더입니다.

그룹은 소재와 제조 기술에 대한 심층적인 이해를 기반으로 과제를 수행합니다. 적절한 특성화 방법을 사용하여 물리적 열화 메커니즘(응력 이동, 전자 이동, 시간 종속 절연 파괴)을 시간적 공간적으로 해결된 방식을 제시합니다. 여기서 결정된 특성은 모델링과 시뮬레이션의 기초가 되며, 마이크로와 나노 수준의 다양한 소재 등급에 대한 다중 규모 소재 데이터베이스로 확장됩니다. 복잡한 전자 시스템의 설계 과정을 고려하여,  마이크로-나노 압입, 현장 압입(SEM, TEM) 접착 측정, 4점 굽힘 테스트, 그리고 이중 캔틸레버 빔 테스트를 위한 최첨단 장비를 프라운호퍼 IKTS에서 사용할 수 있습니다. 프라운호퍼 IKTS는 드레스덴 공과대학(TU Dresden)의 Dresden Fraunhofer Cluster for Nanoanalysis(DFCNA) 및 Dresden Center for Nanoanalysis(DCN)와 전략적인 파트너쉽을 형성하고 있으며, 전문적인 연구 인프라와 방법론적 지식과 경험을 제공합니다.