Öffentlich geförderte Projekte

Projekt

SAB-Projekt – Atomic Layer Processing (ALP)

Projekt

PAR-ALD: Verminderung von Korrosion und Fouling in Wärmeübertragern durch vollständige Innenbeschichtung

Projekt

Atomlagen-Ätzprozessen zur schädigungsarmen Strukturierung von Halbleitermaterialien